纯度是氮气的重要技术参数。按照国家标准，氮气可分为工业氮气、纯氮气和高纯氮气。纯度为99.5%（O2≤0.5%）、99.99%（O2）≤1%、99.999%（O2）≤2.001%。

纯氮（N2）≥99.99；化工、冶金、电子行业高纯氮（N2）≥99999；科学研究、电子和机械工业用载气和色谱仪

因此，如果用作制冷剂，就没有区别。本仪器主要采用高纯氮气

除高纯度≥99.999%（进口量极高）的高纯度氮气外，国内外同行一般采用变压吸附制氮技术生产99.9%的纯氮（即O2），单个企业可生产99.99%的纯氮（O2）≤0.01。变压吸附制氮技术可以获得较高的纯度，但生产成本对用户来说太高。因此，非低温制氮工艺生产的高纯氮气也加入后净化装置。