高纯度六氟化硫在高温下的分解产物导致气体纯度问题。首先，我们应该避免从正规制造商那里购买，并包括产品测试报告。菲利耶对每瓶气体都有一份工厂测试报告，以从源头上消除不纯sf6气体的问题。此外，还应经常检测和更换设备中的六氟化硫气体，以避免损坏设备。

1.电气设备中高纯度六氟化硫在高温电弧作用下产生的一些有毒产品。例如，电弧中气体的分解和与氧气的反应产生有毒物质，如硫酰氟、四氟化硫和硫酰氟。

2.电气设备中高纯度六氟化硫的分解产物与其中的水发生反应，产生一些有毒产物。例如，SF6气体降解产物与水之间的二次反应产生氢氟酸、二氧化硫、硫酸等。

3.电气设备中的高纯度六氟化硫和分解产物与电极（Cu-W合金）和金属材料（AL、Cu）反应，产生一些有毒产物。例如，SF6气体和分解与电极或其他材料发生反应：固体粉末，如ALF3（固体粉末）ALF3（固态粉末）CuF2（固态粉）。

4.电气设备中的六氟化钙硫和分解产物与绝缘材料发生反应，产生一些有毒产物。例如，含硅的环氧酚玻璃板（棒、管）等绝缘部件；或环氧树脂铸件、模塑件、瓷瓶、硅橡胶、硅脂等。以石英砂和玻璃为填料，发挥化学作用生产SiF4、Si（CH3）2F2和其他产品。