用于半导体的高纯气体(用于电子材料的气体或者Electronics Gas)是一种生产半导体、液晶、太阳能电池能各种电子产品时使用的特殊的
高纯气体。从大的方面来说,有用于制作半导体配线等的气体材料、用于蚀刻(进行半导体细微加工等工程)、用于生产设备的清洁等工艺的气体。
比方说,NF3(三氟化氮)是被广泛应用于生产设备的清洁气体(Cleaning Gas),WF6(六氟化钨)是作为半导体的钨配线材料,其需求正急剧上升。
作为NAND(非挥发性存储半导体)、DRAM(挥发性存储半导体)等存储半导体的蚀刻气体(Etching Gas),CI2(氯气)、HBr(溴化银)、CH3F(氟甲烷)、CF4(
四氟化碳)、C4F8(八氟环丁烷)、C4F6(六氟丁二烯)等的需求正在增长。
当前在日本国内,半导体方面的高纯度气体的市场规模约在600亿日元(约人民币40.2亿元)左右;在全球市场规模更大,预计有将近5,000亿日元(约人民币335亿元)。其“主战场”为韩国、中国台湾、中国大陆等东南亚地区。
另一方面,即便是在当前,供应高纯度气体的厂家依旧是日本企业占大多数。昭和电工、大阳日酸、关东电化工业、ADEKA(艾迪科)、日本中央玻璃(Central Glass)、住友精化、大金工业等都生产和销售各种电子材料方面的气体。
关东电化工业的WF6(六氟化钨)全球占比30%,
CF4(四氟化碳)和CHF3(三氟甲烷)全球占比40%。COS是亚洲第一供应商(Top Supplier),全球占比60%。
受到旺盛需求的推动,各气体厂家的业绩不断好转。乘着2018年度半导体市场需求扩大的“顺风”,各家公司的销售额都呈现增长。
据说,昭和电工拥有20多种用于电子材料的气体,2018年度大部分用于电子材料的气体的销售额都创下了历史新高!大阳日酸在东亚地区销售的用于电子材料的气体也呈现了良好趋势!
原本预计2020年以后半导体市场状况会好转,所以期待高纯度气体的需求也将会迅速增加。为此,各家气体厂商分别致力于提高产能。
关于需求急剧增加的WF6(六氟化钨),关东电化工业、中央玻璃(Central Glass)正着手增加产能,而且CH3F(氟甲烷)的增产也在进行中!为应对昭和电工、关东电化工业增加的需求,大阳日酸正在计划在韩国和中国建设合成·精制工厂,进一步扩大生产。
此外,大阳日酸除了在韩国建设了二硼烷(Diborane,B2H6)工厂,在中国的C4F6(六氟丁二烯)工厂也在整备中!关东电化工业计划在2019年末对C4F6(六氟丁二烯)的产能增加一倍。