除了合成过程中产生的杂质外，六氟化硫气体在气体填充过程中还可以与少量空气、水、矿物油和其他杂质混合，所有这些都含有或将产生某些有毒物质。因此，为了确保纯度和质量，已为工厂供应的六氟化硫制定了质量标准，制造商有义务在交付时提供无毒生物测试证书。

1.电气设备中SF6气体在高温电弧发生时产生的一些有毒产品。

例如，SF6气体在电弧中的分解和与氧气的反应产生有毒物质，如硫酰氟、四氟化硫和硫酰氟。

2.电气设备中六氟化硫气体的分解与其中的水发生反应，产生一些有毒产品。例如，SF6气体降解与水之间的二次反应产生氢氟酸、二氧化硫、硫酸等。

3.电气设备中的SF6气体和分解产物与电极（Cu-W合金）和金属材料（AL、Cu）发生反应，产生一些有毒产物。例如，六氟化硫气体和分解与电极或其他材料发生反应：固体粉末如ALF3（固体粉末）ALF3（固态粉末）CuF2（固态粉末

4.电气设备中的SF6气体和分解产物与绝缘材料发生反应，产生一些有毒产物。例如，含硅的环氧酚玻璃板（棒、管）等绝缘部件；或环氧树脂铸件、模塑件、瓷瓶、硅橡胶、硅脂等。以石英砂和玻璃为填料，发挥化学作用生产SiF4、Si（CH3）2F2和其他产品。