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所见即所得
组分
浓度
杂质要求
二氧化碳Carbon Dioxide
4%
水份H2O<2.2 vppm
一氧化碳Carbon Monoxide
6%
碳氢化合物Hydrocarbons (CnHm) < 0.3 vppm
氧气Oxygen
3%
氢Hydrogen < 0.4 vppm
氙Xenon
3%
氪Krypton < 1.6 vppm
氮气Nitrogen
19%
氩Argon < 2.4 vppm
氦气Helium
65% 平衡
氖Neon < 0.4 vppm
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