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所见即所得
Mix(混合气)25-16L-2000psi F2 0.23% + Ar 10.38% + He 64.39% + Ne 25%
Mix(混合气)62-16L-2000psi F2 0.28% + Ar 8.30% + He 29.22% + Ne 62.2%
Mix(混合气)10L-2000psi Ne 98% + Xe + HCl(低于 0.1%)
Mix(混合气)16L-2000psi ArF 193nm + KrF 248nm + XeCl 308nm + XeF450nm~520nm
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